S-4800高分辨冷场发射扫描电子显微镜

    日立S­4800扫描电子显微镜采用大样品室的半内透镜设计，却能达到超高分辨率，可以与内透镜UHR扫描电镜相媲美。

特点：

1. 新型物镜采用专利的ExB设计。使用单检测器和超级ExB可以分别收集和分离单纯
   二次电子、混合二次电子及背散射电子的信号。
2. 1KV低加速电压时保证有2.0nm的分辨率。
3. 两种样品台可选：I型50mm x 50mm小样品台或Ⅱ型110mm x 110mm大样品台。
4. 包括涡轮分子泵在内的先进的真空系统。
5. 便于用户使用的、基于图形用户界面的控制系统，包含多种自动功能，操作简易

性能指标：