Hitachi日立 SU6600配有VP功能的新型热场扫描电镜

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Hitachi日立 SU6600配有VP功能的新型热场扫描电镜

Hitachi日立 SU6600配有VP功能的新型热场扫描电镜

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品牌：中文
生产厂家：Hitachi日立

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Hitachi日立 SU6600配有VP功能的新型热场扫描电镜

SU6600配有VP功能的新型热场扫描电镜
 
产品介绍：

                        

                     SU6600配有VP功能的新型热场扫描电镜
   

    日立公司为分析应用推出的新型热场扫描电镜，可以提供200nA的探针电流，并且配置了VP功能，可以满足不导电样品的无蒸镀观测。

特点:
1.   最大200nA的探针电流，可满足EDX、WDX、EBSP、CL等应用
2.   配有VP功能，可自动实现压差光阑的安装和取出
3.   配有二次电子探头和背散射探头，可选配ESED
4.   大型分析型样品室，可方便的安装多种分析附件
5.   可装载150mm直径、40mm高样品
6.   电脑控制的5轴优中心马达样品台

 二次电子分辨率

  1.2nm@30KV

  3.0nm@1KV

  4.5nm@30KV,150Pa
 背散射电子分辨率 3.5nm@30KV
 放大倍率  10~600,000（输出尺寸127x96mm）
 电子枪类型  热场发射
 探针电率  1pA~200nA
 加速电压  0.5~30KV
 物镜光阑  自清洁、4孔可动式
 束闸  电磁式
 样品台  电脑控制的5轴优中心马达样品台
 X  0~110mm
 Y  0~110mm
 Z  4~40mm
 T  -5°~+70°
 R  360°
 最大样品尺寸  直径150mm x 高40mm
 探头  二次电子探头
 背散射电子探头