Hitachi日立 SU1510扫描电子显微镜

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Hitachi日立 SU1510扫描电子显微镜

Hitachi日立 SU1510扫描电子显微镜

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品牌：中文
生产厂家：Hitachi日立

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Hitachi日立 SU1510扫描电子显微镜

SU1510扫描电子显微镜
 
产品介绍：

                          

                              SU1510扫描电子显微镜

主机宽度仅为55cm体型小巧，具有3.0nm分辨率的高性能可变压力扫描电镜。

特点
1. 仪器主体比过去减小20%，可以更加自由地选择安装场地。
2. 标配低真空功能，可以对不导电进行无喷涂观察。高低真空转换一键完成。
3. 可载入最大直径153mm，高度为60mm(WD=15mm)的样品，并进行元素分析。
4. 强大的鼠标控制功能，可实现电镜的所有操作。
5. 分子泵真空系统，洁净无污染。

 项目  内容
 二次电子分辨率  3.0nm（高真空，30kV）
 背散射电子分辨率  4.0nm(低真空：6Pa，30kV）
 倍率  5～300,000倍
 加速電圧  0.3～30 kV
 样品台  X            0～80 mm
 Y            0～40 mm
 Z            5～50 mm
 T            -20°～ 90°
 R            360°
 样品台控制  手动（可选：2轴马达）
 最大载入样品尺寸  直径：153 mm
 最大观察范围  直径：126 mm（XYR并用）
 最大样品高度  60 mm（WD=15 mm）
 低真空范围  6-270Pa(从菜单设定)
 灯丝  预对中钨灯丝
 物镜光阑  4孔可变光阑
 枪偏压  固定比例偏压、手动偏压和自动4偏压
 检测器  二次电子检测器，高灵敏度半导体背散射电子检测器
 EDX分析位置  WD=15,TOA=35°
 真空系统  分子泵1台，机械泵1台
 安全措施  停电，漏电，自动保护