olympus奥林巴斯工业显微镜U-UVF248深紫外检测系统

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品牌：Olympus奥林巴斯
生产厂家：olympus奥林巴斯

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高分辨率

色差校正的光学系统，能观察到明亮的、高对比度的深紫外线影像

采用了适合深紫外线248 nm的光学系统，实现了可见光线2倍以上的分辨率。即使是深紫外线领域，也能进行248±4 nm的宽范围波长色差校正。能有效利用照明光源，获得鲜明的深紫外线观察影像，适用于观察低反射率的铜接线等标本。也可以在检查更微细的半导体图纹面和磁头滑动面的缝隙时，检查电极时，以及在缩微平版印刷技术中使用这个显微镜系统。

不使用粘合的全新DUV物镜

DUV物镜

DUV物镜采用了本公司独有的"无粘合透镜"设计制造技术。新开发的DUV物镜不使用粘合材料，高精度地组装了18组18片的透镜。即使是长时间的深紫外线照射，DUV物镜也能维持优异的性能。

高扩展性

分离式深紫外灯箱，提高了产品组合的灵活性。

深紫外线观察单元

把作为热源的灯箱从深紫外线镜筒分离，使之成为独立的光源单元。使用UV光引导把照明光线从光源单元导向镜筒，这样一来，在设置显微镜时其布局就容易了许多。此外，光源单元前面的操作旋钮，可以无级调光，能调节出适合样品的最佳亮度。石英纤维的使用实现了均一的DUV光照明。

实时成像

高分辨率的DUV数码照相机由软件控制，可高速获取数据。计算机上获取的图像可快速存档和分析，以便存入数据库和生成报告。

高经济性

小型紧凑、低成本

DUV镜筒构造简单，没有操作部分。照明部分可以拆卸，与传统的专用设备相比，重量减少了约1/2，实现了小型、轻便化。此外，成本也约压缩为原来的一半。

采用超长寿命的水银氙灯

光源盒	在深紫外线照明上采用了照明时间平均为1000小时的超长寿命水银氙灯。减少了照明灯的更换，降低了运行成本。

将深紫外线观察装置搭载于显微镜上，就可以组成深紫外线观察显微镜。有关对应的显微镜规格，请参阅各显微镜的具体规格说明。

深紫外线观察装置

U-UVF规格
UV248鏡筒　U-UVF248IM	DUV光学系统	使用波长	248±4nm
		光源	80W Mercury Xenon Lamp
		物镜	Dedicated DUV100x Objective Lens: N.A. 0.9, WD 0.2mm
		中间倍率	2.5x
		视场数	12.5 (Actual Field of View: 50µm)
		适用温度环境	23±5°C
	可见光线光学系统	物镜	UIS Objective Lens
		中间倍率	1x
		视场数	22 (20 for Camera Observation)
UV428光源盒 U-UVF248LB	亮度调节 快门	0到100%手动无级调节 上下滑动式切换拨杆
UV光导U-UVF2FB/5FB		长度2 m或5 m
水银氙灯盒U-LH80HGXE		使用80 W水银氙灯
电源装置		USHIO制造（100 V～120 V）

对应显微镜一览

> MX61A: 可以综合控制外围设备、对应300 mm晶圆的电动型号
> MX61L/ MX61: 可以对应300 mm/ 200 mm 晶圆的电动型号
> MX51: 可以对应150 mm晶圆的手动型号