Park Systems XE-70 原子力显微镜

    考虑到众多预算有限用户对高性能AFM的需求,Park Systems精心设计并推出了XE-70这款经济型高性能AFM。XE-70果断放弃了部分成本较高的调节马达，坚决保留了所有XE系列产品的创新技术，并保证该款机型可与XE系列产品的各种扩展功能组件和选配件完全兼容。

技术参数(机械部分)：
1. XY扫描器：50µm×50µm（闭环），可选配100µm×100 µm（闭环）
2. Z扫描器：12µm (可选配25µm)
3. 水平度：50µm线扫描垂直偏差不超过1nm
4.  XY和Z扫描器的正交性：1.0o
5. 样品台移动范围：25mm×25mm（X/Y），27.5mm (Z)
6. 样品尺寸：100mm×100mm
7. 光学观察：垂直光路设计，可直接观察微悬臂和样品

技术参数(电子部分)
1. 微处理器：600MHz，4800MIPS DSP
2. 模数/数模：16位，500kHz采样频率
3. 图像采集：同步自动采集16幅图像，分辨率高达4096×4096像素
4. 通讯方式：采用基于TCP/IP协议的通讯方式与计算机联接
5. 符合CE认证标准

标准工作模式：
. 真正非接触模式(True non-contact mode)
. 接触模式(contact mode)
. 相位模式(phase imaging)
. 横向力模式(LFM)

扩展工作模式：：
. 力测量（Force measurements）
. 导电（Conductive AFM）
. 电力（Electric Force）
. 电子 (Electrical)
. 磁性 (Magnetical)
. 机械 (Mechanical)
. 热 (Thermal)

主要特点：
一、计量精确
XE系列AFM彻底消除了球面误差，因而具备了实现精确纳米计量的能力。
二、扫描器线形度高，直角正交
XE系列AFM采用了柔性扫描器最大限度减小了X和Y扫描运动的交叉耦合，并且通过位移传感器及时进行反馈控制，这就有效保证了扫描的准确度和精度。
三、非接触式扫描
可真正实现非接触式扫描是Park AFM最显著的技术优势。采用这一模式扫描时，针尖和样品间距可以保持在几个纳米，在避免针尖磨损的同时提高了成像质量。
四、CrN样品测试结果
CrN样品具有点状尖锐的特点，是常用的AFM探针性能测试样品。如采用轻敲模式进行扫描，10次后图像质量就因针尖磨损而明显下降。在非接触扫描实验中，扫描100次后图像细节依然清晰，证明针尖没有受到损伤。

XE-150大样品原子力显微镜

    随着XE-150的推出，对大尺寸样品进行无损检测成为了一种切实可行的技术手段。XE-150分辨率高，性能稳定可靠。样品台可在150毫米见方或者200毫米见方的量程内自动移动，无论是扫描小尺寸样品还是大尺寸样品，操作起来都是得心应手。如使用Step-and-Scan功能可帮助用户按照定制的计划对多个目标区域进行连续自动扫描，极大的提高了检测效率。

技术参数(机械部分)：
1.  XY扫描器：100µm×100µm（闭环），可选配200µm×200 µm
2.  Z扫描器：12µm (可选配25µm)
3.  水平度：50µm线扫描垂直偏差不超过2nm
4.  XY和Z扫描器的正交性：1.0o
5.  样品台移动范围：200mm×200mm（X/Y），27.5mm (Z)
6.  样品尺寸：200mm×200mm
7.  光学观察：垂直光路设计，可直接观察微悬臂和样品

技术参数(电子部分)

1. 微处理器：600MHz，4800MIPS DSP
2. 模数/数模：16位，500kHz采样频率
3. 图像采集：同步自动采集16幅图像，分辨率高达4096×4096像素
4. 通讯方式：采用基于TCP/IP协议的通讯方式与计算机联接
5. 符合CE认证标准

标准工作模式：

. 真正非接触模式(True non-contact mode)
. 接触模式(contact mode)
.  相位模式(phase imaging)
. 横向力模式(LFM)

扩展工作模式：

. 力测量（Force measurements）
. 导电（Conductive AFM）
. 电力（Electric Force）
. 电子 (Electrical)
.  磁性 (Magnetical)
.  机械 (Mechanical)
. 热 (Thermal)

主要特点：

一、 彻底消除了扫描器的交叉耦合
二、 无损检测将分辨率提高到了极致
三、 易于同其他光学设备组合使用
四、 可便捷的更换样品和探针
五、 可对多目标区域进行自动扫描
六、 150/200mm全程移动样品台

Park Systems XE-100 原子力显微镜

    XE-100是Park Systems的旗舰产品。该产品可以实现精确的纳米计量和无损检测。新增的多区域自动扫描功能，更是极大的提高了检测效率。该系统可广泛的应用于材料科学、聚合物、电化学等诸多领域。近年来，Raman HR-800和XE-100的联合系统更是帮助VLSI开拓出了对100纳米以下硅微结构进行机械性能分析的新天地。

技术参数(机械部分)：
1. XY扫描器：50µm×50µm（闭环），可选配100µm×100 µm（闭环）
2. Z扫描器：12µm (可选配25µm)
3. 水平度：50µm线扫描垂直偏差不超过1nm
4.  XY和Z扫描器的正交性：1.0o
5. 样品台移动范围：25mm×25mm（X/Y），27.5mm (Z)
6. 样品尺寸：100mm×100mm
7. 光学观察：垂直光路设计，可直接观察微悬臂和样品

技术参数(电子部分)
1. 微处理器：600MHz，4800MIPS DSP
2. 模数/数模：16位，500kHz采样频率
3. 图像采集：同步自动采集16幅图像，分辨率高达4096×4096像素
4. 通讯方式：采用基于TCP/IP协议的通讯方式与计算机联接
5. 符合CE认证标准

标准工作模式：
. 真正非接触模式(True non-contact mode)
. 接触模式(contact mode)
. 相位模式(phase imaging)
. 横向力模式(LFM)

扩展工作模式：
. 力测量（Force measurements）
. 导电（Conductive AFM）
. 电力（Electric Force）
. 电子 (Electrical)
. 磁性 (Magnetical)
. 机械 (Mechanical)
. 热 (Thermal)

主要特点：
一、 计量精确
XE系列AFM彻底消除了球面误差，因而具备了实现精确纳米计量的能力。
二、 扫描器线形度高，直角正交
XE系列AFM采用了柔性扫描器最大限度减小了X和Y扫描运动的交叉耦合，并且通过位移传感器及时进行反馈控制，这就有效保证了扫描的准确度和精度。
三、 非接触式扫描
可真正实现非接触式扫描是Park AFM最显著的技术优势。采用这一模式扫描时，针尖和样品间距可以保持在几个纳米，在避免针尖磨损的同时提高了成像质量。
四、 CrN样品测试结果
CrN样品具有点状尖锐的特点，是常用的AFM探针性能测试样品。如采用轻敲模式进行扫描，10次后图像质量就因针尖磨损而明显下降。在非接触扫描实验中，扫描100次后图像细节依然清晰，证明针尖没有受到损伤。